百級(jí)無塵車間的裝修標(biāo)準(zhǔn)以及設(shè)計(jì)參數(shù)
2018-03-03 02:00:54 作者：admin 出處：科瓦特
無塵車間級(jí)別不同，空氣潔凈度也會(huì)不同的，而且對(duì)于無塵車間的整體設(shè)計(jì)規(guī)劃區(qū)別，接下來小編就帶大家了解下百級(jí)無塵車間的裝修標(biāo)準(zhǔn)以及設(shè)計(jì)參數(shù)！
百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)裝修的標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)就是每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下。
當(dāng)前，在芯片生產(chǎn)加工上的無塵標(biāo)準(zhǔn)的要求就是要高于A級(jí)的，像這樣的高的要求標(biāo)準(zhǔn)主要是被應(yīng)用在在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上，而業(yè)內(nèi)稱之為的1K級(jí)別的就是微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)。
百級(jí)無塵車間設(shè)計(jì)參數(shù)
溫度：22℃±2；濕度：55%±5；基本需要滿布FFU，做高架地板。做MAU+FFU+DC系統(tǒng)。
還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右。
百級(jí)無塵車間若非得用換氣次數(shù)來衡量的話200次/h以上，
百級(jí)無塵車間若是以層流風(fēng)速來說的話>0.35m/s，
百級(jí)無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對(duì)吊頂覆蓋率的話>50%。
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